Entwicklung eines Autofokussystems für die lateral scannende Weißlichtinterferometrie

Semester: Wintersemester 2019/20
Studiengang:
  • MSc Systems Engineering
  • MSc Produktionstechnik
Geeignet als: Masterprojekt
Gruppengröße: 3-3 Personen

Der kleine axiale Messbereich (ca. 8 µm) des Weißlichtinterferometers hat zur Folge, dass die Interferenzstreifen schon bei geringen Abweichungen des Scanpfades aus dem Sichtfeld der Kamera wandern. Dies erschwert die Aufnahme von längeren Scans ( > 5 mm) insbesondere an rotierenden, Oberflächen. In der Praxis können Abweichungen vom idealen Scanpfad aufgrund von beispielsweise exzentrischer Rotation oder Formabweichung nie komplett vermieden werden.

Um das Messystem auf den langfristig geplanten In-Process-Einsatz vorzubereiten, soll ein Autofokus entwickelt werden.

Kontakt

Gert Behrends
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Telefon: +49 (0)421 218 646 29